Se presenta una herramienta informática para la simulación del esparcimiento de luz láser en superficies rugosas metálicas. La herramienta está basada en una técnica de trazado de rayos, la cual permite obtener un modelo que relaciona las variables de un esparcímetro de resolución angular y el perfil de una superficie –real o sintetizado– con el patrón de esparcimiento de luz. La base de la simulación es la ley de Snell aplicada al perfil de rugosidad que se obtuvo experimentalmente con un perfilómetro comercial. A diferencia de otros trabajos, no se hacen suposiciones probabilísticas sobre las características de la superficie. Los resultados muestran que se puede obtener el patrón de esparcimiento que produciría un esparcímtero de resolución angular. Su facilidad de uso permite cambiar las condiciones de medición como el ángulo de incidencia, el tipo de muestra, el nivel de rugosidad, y el nivel de filtrado del detector.

We present a software tool for simulation of laser light scattering in rough metal surfaces. The tool is based on a ray tracing technique, which allows to obtain a model relating the variables of an angle resolved scatterometer and the profile of a surface –real or synthesized– with the light scattering pattern. The basis of the simulation is the Snell law applied to profiling data obtained experimentally using a comercial profilometer. Unlike other studies, no probabilistic assumptions are made about the characteristics of the surface. The results show that it is possible to obtain a scattering pattern as it would be obtained by an angular resolved scatterometer. The ease of use allows to change the measurement conditions like incident angle, type of sample, roughness level, and filtering effects by the detector.